AMO：高性能紫外線納米壓印抗蝕劑

UV納米壓印是一種機械成型技術。由石英或具有 3D 浮雕的柔性彈性體制成的模板與基板頂部旋涂的 UV 固化抗蝕劑緊密接觸。由于壓印抗蝕劑的低粘度，在室溫下施加低壓印壓力會在幾秒鐘內填充特征?？刮g劑通過模板背面的紫外光硬化。最后，分離基板和模板。復制的抗蝕劑浮雕可以進一步通過RIE工藝轉移到基板中或用作功能元件。

基于在納米壓印領域的廣泛長期經驗，AMO 開發(fā)了一種可商用的 UV 固化抗蝕劑 (AMONIL®) 和匹配的粘合促進劑 (AMOPRIME)。

AMO 的 NANOIMPRINT RESIST AMONIL®：

AMO GmbH 在一系列項目中從事 UV-Nanoimprint 光刻技術的研究和開發(fā)超過 15 年?；谶@些豐富的經驗，我們能夠設計 AMO并定期對其進行改進。該抗蝕劑將出色的涂層和壓印性能與出色的圖案保真度和合理的等離子體穩(wěn)定性相結合。

上海薩起工業(yè)控制設備有限公司 （簡稱：上海薩起）自成立以來就一直致力于世界工業(yè)設備，具有4000余家歐洲廠家或貿易商直接供貨，公司優(yōu)勢采購成本低：我司總部位于德國，源頭采購，100%原裝并享受德國本國企業(yè)的價格折扣，部分品牌的部分產品系列我公司可以拿到。

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